english  
  Domů Společnost Produkty Výzkum Kontakt
 

 

Odporové vrstvy
Kontaktní  vrstvy
Vlhkoměry
 Multivrstvy
 Koncentrovaná fotovoltaika CPV

      

 

   

 

Multivrstvy

 

TTS se zabývá vývojem a výrobou multivrstev, určených pro rtg optiku, založenou na principu totálního odrazu rtg svazku na multivrstvě. V této oblasti TTS úzce spolupracuje s firmou Reflex s.r.o.

 

Multivrstva je složena  zpravidla ze dvou střídajících se tenkých vrstev A a B (tloušťky 1 až 10 nm). Nejdříve je deponována vyhlazovací a ochranná vrstva (obvykle CNX ). Poté jsou deponovány dvojvrstvy A+B   postupně   N-krát jedna na druhou. Výsledná struktura má požadovanou opakovací periodu  L= tA + tB , kde ti  je tloušťka jednotlivých tenkých vrstev A a B. V důsledku rozdílných indexů lomu ni obou vrstev působí celá struktura po dopadu rtg záření jako jednorozměrný Braggův reflektor. Vrstva A je zpravidla ze silně absorbujícího materiálu s vysokou hustotou (kovu), kdežto vrstva B z nízkohustotního materálu  vytváří  definovanou rozteč vrstev A. Vlastnosti celé multivrstvy pak mohou být popsány analogicky jako vlastnosti monokrystalu.

 

Č. vrstvy Tloušťka (A) Materiál Hustota (%) Drsnost (A) Periody N
1 48.9 CN 20 4.8 10 x
2 23.5 CN 99.9 3.4  
3... 28.8 Ni 92.3 4.7  
...22 30.0 C 54.4 3.4  

 

Obr.1: Reflexní charakteristika v  semilog měřítku,  

         sklo, Ni/C  dvojvrstvy, N = 10 x, R = 30.4%, Braggův peak 0.8°

 

 

Č. vrstvy Tloušťka (A) Materiál Hustota (%) Drsnost (A) Periody N
1 56.3 SiO2 99 1.0 25 x
2... 39.1 Si 75.3 3.8  
...51 31.2 W 107.0 1.0  

 

 Obr.2: Reflexní charakteristika v lineárním měřítku,  

         sklo, W/Si  dvojvrstvy, N = 25 x , R = 73.9%, Braggův peak 0.73°

 

 

Odrazivost vrstvy výrazně závisí nejen na dokonalé periodicitě vrstev, ale také na mikrodrsnosti podložního substrátu i jednotlivých vrstev, která musí být v řádu jednotek Angstromů. Technologie TTS je proto zaměřena také na dosažení velice jemné  mikrodrsnosti (viz tabulky).

 

TTS se zabývá také vývojem a výrobou rtg mikrofokusačních objektivů. Tyto objektivy jsou připravovány naprašováním multivrstvy na rotačně symetrický model parabolického tvaru. Multivrstva je následně replikována,  tj.  metodou galvanoplastiky je přenesena na vnitřní stěnu dutého paraboloidu. Tato technologie vyžaduje také nanesení vhodné oddělovací vrstvy na model před vlastní depozicí multivrstvy.

 

 


TTS s.r.o.

Novodvorská 994

142 21 Praha 4

Česká  republika

mailto:info@tts-co.eu