ZAŘÍZENÍ A TECHNOLOGIE
VÝROBA TENKÉ VRSTVY
V oblasti tenkovrstvých technologií disponujeme třemi zařízeními pro magnetronové naprašování a zařízením pro iontové leptání umístěnými moderním bezprašném prostoru. Tato zařízení jsou doplněna fotolitografickým tvarováním vrstev a metrologickou laboratoří pro kontrolu kvality nanesených vrstev.
MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOVÁNÍ
- stejnosměrné a vysokofrekvenční naprašování pro depozici vodivých i nevodivých substrátů (viz Materiály a substráty)
- možnost vysokofrekvenčního čištění substrátů
- naprašovaná plocha až 300 x 300 mm v semikontinuálním zařízení (možnost velkoobjemové výroby)
- až 3 materiály naprašované v jednom vakuovém cyklu
- možnost koaxiálního naprašování, naprašování složitšjších geometrií a depozice vrstev do otvorů
IONTOVÉ LEPTÁNÍ
- leptání vrstev nebo mletí substrátů energetickými argonovými ionty
- pro suché tvarování vrstev
- průměr iontového svazku 75 mm
- iontová depozice vodivých i nevodivých materiálů
TVAROVÁNÍ TENKÝCH VRSTEV
- suché (iontové) leptání
- fotolitografie
- chemické laboratoř pro tvarování vrstev mokrými procesy a analýzu
- depozice přes kovové masky
METROLOGIE
- profilometrické měření tloušťky vrstev
- měření elektrických vlastností tenkých vrstev
- optická mikroskopie
