ZAŘÍZENÍ A TECHNOLOGIE

VÝROBA TENKÉ VRSTVY

V oblasti tenkovrstvých technologií disponujeme třemi zařízeními pro magnetronové naprašování a zařízením pro iontové leptání umístěnými  moderním bezprašném prostoru. Tato zařízení jsou doplněna fotolitografickým tvarováním vrstev a metrologickou laboratoří pro kontrolu kvality nanesených vrstev.

MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOVÁNÍ

  • stejnosměrné a vysokofrekvenční naprašování pro depozici vodivých i nevodivých substrátů (viz Materiály a substráty)
  • možnost vysokofrekvenčního čištění substrátů
  • naprašovaná plocha až 300 x 300 mm v semikontinuálním zařízení (možnost velkoobjemové výroby)
  • až 3 materiály naprašované v  jednom vakuovém cyklu
  • možnost koaxiálního naprašování, naprašování složitšjších geometrií a depozice vrstev do otvorů

IONTOVÉ LEPTÁNÍ

  • leptání vrstev nebo mletí substrátů energetickými argonovými ionty
  • pro suché tvarování vrstev
  • průměr iontového svazku 75 mm
  • iontová depozice vodivých i nevodivých materiálů

TVAROVÁNÍ TENKÝCH VRSTEV

  • suché (iontové) leptání 
  • fotolitografie
  • chemické laboratoř pro tvarování vrstev mokrými procesy a analýzu
  • depozice přes kovové masky

METROLOGIE

  • profilometrické měření tloušťky vrstev
  • měření elektrických vlastností tenkých vrstev
  • optická mikroskopie
20190801_laboratory