TENKOVRSTVÁ METALIZACE

Vysoce kvalitní tenkovrstvá metalizace pro pájení a bondování je naším předním produktem. Je založena na vícevrstvých  kontaktních systémech sestávajících z adhezní, bariérové a vodivé vrstvy. Vyznačuje se výbornou adhezí, teplotní odolností a stabilitou.

Metalizaci jsme schopní nanášet na mnoho různých typů substrátů (viz stránku Materiály a substráty), nicméně nejtypičtější substráty jsou ty následující:

  • sklo
  • sklo-keramika
  • keramika (leštěná i neleštěná)
  • křemík

Nabízíme následující standardní kontaktní systémy:

Standardní vícevrstvá metalizace

Materiály Max. provozní teplota Možnosti kontaktování

NiCr / Ni / Au

125 °C

pájení, bondování

Ti / Pd / Au

130 °C

pájení, bondování

TiW / Pd / Au

155 °C

pájení, bondování

TiW / Au

155 °C

bondování

Ti / Cu / Ni / Au

155 °C

pájení, bondování

U všech našich kontaktních systémů doporučujeme temperaci alespoň 1 h při 250 °C z důvodu stabilizace kontaktu. Místo zlata mohou být jako vodivé vrstvy naneseny i stříbro nebo měď. V těchto případech je však nutné upravit postup následného zpracování.

Další kontaktní systémy, včetně hliníkové metalizace, jsou možné na vyžádání. Níže je uvedena tabulka typických tloušťek jednotlivých používaných materiálů. 

Standardní tloušťky jednotlivých materiálů používaných pro metalizaci

Materiál Tloušťka [nm] Materiál Tloušťka [nm]

Ni

100 - 3000

Ag

100 - 10000

NiCr

100 - 200

Cu

100 - 5000

Ti

50 - 100

Al

100 - 15000

TiW

25 - 100

AlSi

100 - 15000

Pd

100 - 300

AlSiCu

100 - 15000

Au

100 - 5000